KUNGFLEX 316L 双卡套硬管总成采用 SUS316L 不锈钢原料制造,面向半导体行业的超纯气体、工艺冷却水与真空输送管路系统。管体经精密数控弯管一次成型,整体无缝无焊缝;内壁电解抛光处理,显著降低气体析出与介质可萃取物,满足超纯管路的洁净要求。
产品特点
- 316L(SUS316L)不锈钢基材:耐腐蚀性能优异,适配超纯气体、工艺冷却水及真空输送管路。
- 一体成型无焊缝:精密数控弯管成型,弯位无焊缝堆积,减少颗粒与介质析出风险。
- 内壁电解抛光(EP):表面粗糙度低、析出物少,降低超纯气体污染风险,洁净等级满足半导体 FAB 厂房管路标准。
- 双卡套式密封结构:安装便捷,重复拆装后依旧保持可靠密封,杜绝泄漏风险。
- 可按图定制:支持按图纸定制弯管形状、管长与接口规格,兼容 VCR、卡套等多种连接形式。
- 典型应用:晶圆制程设备、温控 TCU、Chiller 冷水机、机台气路分配模块、气体柜。
技术参数
| 材质 | 表面处理 | 连接形式 | 工作温度 | 洁净等级 |
|---|
| SUS316L 不锈钢 | 内壁电解抛光(EP) | 双卡套 / VCR | -196°C ~ +538°C | 满足半导体 FAB 厂房管路标准 |
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