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316L 双卡套硬管总成 半导体超纯气体/工艺冷却水管路 电解抛光不锈钢弯管
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规格参数

产品简介

颜色:可定制
温度:-196°C~++538°C
软管用途:

产品详情

KUNGFLEX 316L 双卡套硬管总成采用 SUS316L 不锈钢原料制造,面向半导体行业的超纯气体、工艺冷却水与真空输送管路系统。管体经精密数控弯管一次成型,整体无缝无焊缝;内壁电解抛光处理,显著降低气体析出与介质可萃取物,满足超纯管路的洁净要求。

产品特点

  • 316L(SUS316L)不锈钢基材:耐腐蚀性能优异,适配超纯气体、工艺冷却水及真空输送管路。
  • 一体成型无焊缝:精密数控弯管成型,弯位无焊缝堆积,减少颗粒与介质析出风险。
  • 内壁电解抛光(EP):表面粗糙度低、析出物少,降低超纯气体污染风险,洁净等级满足半导体 FAB 厂房管路标准。
  • 双卡套式密封结构:安装便捷,重复拆装后依旧保持可靠密封,杜绝泄漏风险。
  • 可按图定制:支持按图纸定制弯管形状、管长与接口规格,兼容 VCR、卡套等多种连接形式。
  • 典型应用:晶圆制程设备、温控 TCU、Chiller 冷水机、机台气路分配模块、气体柜。

技术参数

材质表面处理连接形式工作温度洁净等级
SUS316L 不锈钢内壁电解抛光(EP)双卡套 / VCR-196°C ~ +538°C满足半导体 FAB 厂房管路标准

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316L 双卡套硬管总成